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ø型号:电镜-fei nova nanosem450(美国fei公司)/能谱-x-max50(英国牛津仪器公司)/ebsd-nordlys max(英国牛津仪器公司)

ø 性能指标:电镜二次电子分辨率:0.8nm(30kv);加速电压:0.5kv~30kv;放大倍数:35-900,000倍;能谱分辨率123ev(mn ka)。

ø主要功能:能做各种固态样品表面形貌的二次电子像,背散射电子像观察及图像处理;配备有x射线能谱仪,可以进行样品表层的微区(点、线、面)的定性、半定量和定量分析;同时配备ebsd,可以进行取向和取向差异的测量、微织构分析、相鉴定、应变和真实晶粒尺寸的测量。

场发射扫描电子显微镜(能谱及ebsd)_副本.jpg